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2023年中国抛光液行业市场生长与未来展望

文章泉源:利澳平台注册开户咨询整理 作者:利澳平台注册开户咨询整理 阅读量:237 宣布时间:2023-06-10

抛光液又称化学机械研磨液,由纳米级研磨颗粒和高纯化学品组成,是化学机械抛光工艺历程中使用的主要化学质料。

抛光液在CMP手艺中至关主要,在抛光质料中价置魅占比约50%,其耗用量随着晶圆产量和CMP平展化工艺办法数增添而增添。

凭证应用的差别工艺环节,可以将抛光液分为硅/多晶硅抛光液,浅槽隔离(STI)抛光液,金属栅极抛光液,介电质料(二氧化硅、氮化硅)抛光液,钨抛光液,铜及铜阻挡层抛光液,以及用于三维集成的硅通孔(TSV)和混淆键合抛光液等。

抛光液特点为种类繁多,纵然是统一手艺节点凭证差别客户的工艺手艺要求也有差别配方,其主要质料包括纳米磨料、种种添加剂和超纯水。其中,纳米磨料是决议抛光液性能的要害质料,主要包括硅溶胶和氧化铈等品类,约占抛光液价值的三分之一。

得益于整个半导体行业及半导体质料的迅速增添,全球抛光液市场泛起快速增添态势。2021年全球抛光液市场规模18.9亿美元,同比增添13%,其中铜抛光液、钨抛光液和氧化物抛光液的市场规模占比最大,而钴抛光液和多晶硅抛光液则成为增添最快的抛光液品类。

近年中国抛光液市场增速显著高于全球市场,2025年海内抛光液市场有望占全球市场的25%,达40亿元,2022-2025年中国抛光液复合增添率达15%。

内容节选自利澳平台注册开户宣布的《中国抛光液行业市场调研与投资战略报告(2023版)》,若有需求,联系利澳平台注册开户010-67280121

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